產(chǎn) 品 說 明 

全自動(dòng)UV解膠機(jī)（  Fully automatic UV Curing System）性能及特點(diǎn)：

AV-DUV300是一款全自動(dòng)晶圓UV解膠機(jī)帶Frame自動(dòng)進(jìn)出料盒的UV解膠設(shè)備，該設(shè)備兼容12”以下帶Frame的wafer，且無需治具更換。

技術(shù)參數(shù)：

膜種類: UV膜

晶圓規(guī)格： 12寸以下晶圓 

照射光源: 光源UVLED燈珠，波長(zhǎng)可選。

照射光照度:50-500MW/cm2

照度檢測(cè)：照度點(diǎn)檢探頭

裝卸方式: 自動(dòng)進(jìn)出料盒,標(biāo)準(zhǔn)配置為一個(gè)料盒

生產(chǎn)效率：≥90PCS/H（UV解膠時(shí)長(zhǎng)10秒）

晶圓承載系統(tǒng):固定位密閉腔體

產(chǎn)品定位:定位框架

貼標(biāo)系統(tǒng)：解膠完成自動(dòng)打標(biāo)已解膠

運(yùn)行系統(tǒng)：上下運(yùn)動(dòng)+前后運(yùn)動(dòng)

電力供應(yīng): 單相交流電220V,3KW

壓縮空氣壓力: 0.3～0.6Mpa

氮?dú)鈮毫Γ?.3～0.6Mpa

氮?dú)饬髁浚?0-50L/min

安全運(yùn)行：工作中蓋子上鎖無法打開，報(bào)警燈蜂鳴。

WINDOWS+PLC程序：編輯多組解膠時(shí)長(zhǎng)及光源照度大小

SECS/GEM：可選