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全自動(dòng)UV解膠機(jī) Fully automatic UV Curing System

發(fā)布時(shí)間:2025-06-02人氣:56

產(chǎn) 品 說 明 

全自動(dòng)UV解膠機(jī)(  Fully automatic UV Curing System)性能及特點(diǎn):

AV-DUV300是一款全自動(dòng)晶圓UV解膠機(jī)帶Frame自動(dòng)進(jìn)出料盒的UV解膠設(shè)備,該設(shè)備兼容12”以下帶Frame的wafer,且無需治具更換。


技術(shù)參數(shù):

膜種類: UV膜

晶圓規(guī)格: 12寸以下晶圓 

照射光源: 光源UVLED燈珠,波長(zhǎng)可選。

照射光照度:50-500MW/cm2

照度檢測(cè):照度點(diǎn)檢探頭

裝卸方式: 自動(dòng)進(jìn)出料盒,標(biāo)準(zhǔn)配置為一個(gè)料盒

生產(chǎn)效率:≥90PCS/H(UV解膠時(shí)長(zhǎng)10秒)

晶圓承載系統(tǒng):固定位密閉腔體

產(chǎn)品定位:定位框架

貼標(biāo)系統(tǒng):解膠完成自動(dòng)打標(biāo)已解膠

運(yùn)行系統(tǒng):上下運(yùn)動(dòng)+前后運(yùn)動(dòng)

電力供應(yīng): 單相交流電220V,3KW

壓縮空氣壓力: 0.3~0.6Mpa

氮?dú)鈮毫Γ?.3~0.6Mpa

氮?dú)饬髁浚?0-50L/min

安全運(yùn)行:工作中蓋子上鎖無法打開,報(bào)警燈蜂鳴。

WINDOWS+PLC程序:編輯多組解膠時(shí)長(zhǎng)及光源照度大小

SECS/GEM:可選


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