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晶圓擴(kuò)膜機(jī) Wafer Expander

發(fā)布時(shí)間:2023-04-24人氣:585

全自動(dòng)晶圓擴(kuò)膜機(jī)產(chǎn)品說(shuō)明 

    AWE系列是專門用于晶圓、LED等切割后的擴(kuò)膜工序,配備PLC和觸摸屏控制系統(tǒng),可均勻的擴(kuò)張晶粒之間的間距。

產(chǎn)品特點(diǎn): 

1.擴(kuò)膜的高度和速度可直接在觸摸屏上設(shè)定;

2.工作盤具有加熱功能,有助于膜的延伸性;

3.調(diào)整工作盤上升的高度,即可調(diào)整晶粒之間的間距;

4.急停開(kāi)關(guān);當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)緊急情況下,按此按鈕;

5.電源開(kāi)關(guān):按下“O”關(guān)閉電源,按下“-”開(kāi)啟電源;

6.復(fù)位鍵;開(kāi)機(jī)后,必須先按復(fù)位鍵,使設(shè)備各軸處于原點(diǎn)位置;

7.啟動(dòng)鍵:全自動(dòng)模式的啟動(dòng)鍵,與觸摸屏全自動(dòng)模式下的啟動(dòng)鍵作用一樣,圓周刀自動(dòng)圓切

8.溫控器:用于設(shè)定臺(tái)盤加熱溫度;

9.觸摸顯示屏,用于操作機(jī)器的顯示屏

10.每小時(shí)產(chǎn)能: 60-90 片

11.精度:同心圓±2MM

12.上蓋板下翻后自動(dòng)鎖緊


        

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